ФСМ-1201П

Предназначен для измерения кремниевых пластин и структур.
Представляет собой специализированный автоматизированный измерительный комплекс на основе универсального Фурье-спектрометра ФСМ 1201. Он снабжен двухкоординатным измерительным столом и позволяет в автоматическом режиме измерять параметры кремниевых пластин в заданных оператором точках для пластин диаметром до 200 мм.

ИК-Фурье спектрометрия является эффективным инструментом неразрушающего контроля полупроводниковых пластин и структур, что закреплено международно признанными стандартами ASTM F1188 и F1391, определяющими методы измерения концентрации междуузельного кислорода и углерода замещения в кремнии, ASTM F95, определяющим метод измерения толщины эпитаксиальных слоев для структур типа n-n+ или р-р+ и др. Возможно определение состава слоев ФСС и БФСС, а также параметров диэлектрических слоев.

Основные контролируемые параметры:

  • концентрация междуузельного кислорода (толщина пластин 0,4–2 мм) в пределах: (5x1015 - 2x1018) ± 5x1015 см-3;
  • концентрация углерода замещения (толщина пластин 0,4–2 мм) в пределах: (1x1016 - 5x1017) ± 5x1016 см-3;
  • толщина эпитаксиальных слоев кремниевых структур типа n-n+ или р-р+ в пределах: ((0,5-10) ± 0,1 мкм, (10-200)±1% мкм;
  • концентрация фосфора в слоях ФФС и бора/фосфора в слоях БФСС в пределах: (1 – 10) ± 0,2 вес.%

ТЕХНИЧЕСКИЕ ДАННЫЕ


 
ХарактеристикаЗначение
Принцип действияФурье-спектрометр на базе интерферометра
Спектральный диапазон, см-1:400-7800
Спектральное разрешение, см-1:1, 2, 4
Диаметр светового пятна на образце, мм6
Размеры пластин, мм76, 100, 125, 150, 200
Точность позиционирования стола, мм0,5
Время стандартного измерения в одной точке, с30-60
Потребляемая мощность (без ПК), Вт95
Размеры спектрометра, см67x65x25
Вес спектрометра, кг37

Выполняется разработка методик и программного обеспечения, по техническому заданию Заказчика.

ДОСТОИНСТВА МЕТОДА ФУРЬЕ-СПЕКТРОМЕТРИИ

Высокая чувствительность. Рекордное в сравнении с обычными ИК спектрометрами отношение сигнал/шум позволяет на порядок снизить порог обнаружения контролируемый примесей и повысить точность определения концентрации.

Высокая производительность. Время получения спектра при разрешениях и фотометрической точности, соответствующих требованиям стандартов, не превышает 15-20 с. Это делает возможным сплошной контроль пластин и структур в процессе производства, а также позволяет исследовать неоднородность пластин, измеряя распределения контролируемого параметра.

Достоверность анализа. Анализ и идентификация спектров осуществляется автоматически с использованием библиотек стандартных спектров, включаемых в базу данных спектрометра. Снижается вероятность субъективных ошибок оператора.

Бесконтактность измерений. В процессе измерений отсутствуют механические воздействия на поверхность пластин.

Автоматизация измерений. Процесс получения спектров, их обработка и контроль за перемещением пластины полностью автоматизированы. Маршрут перемещения выбирается из стандартных конфигураций (1, 5 и 9 точек) или задается оператором. Результаты измерений автоматически протоколируются и заносятся в базу данных.

 

Уважаемые клиенты!
Запрашивайте коммерческие предложения и дополнительную информацию
по телефонам: +7 (495) 926-38-48
а также e-mail: spectro-systems@mail.ru, alexeibaranov@rambler.ru.

 
 
119991, г.Москва, Ленинский проспект, д.31, тел./факс: +7(495) 926-38-48, spectro-systems@mail.ru